清乾隆至光绪年间,先后设和林格尔厅、清水河厅、丰镇厅、宁远厅、陶林厅、武川厅、兴和厅。清末各厅均属山西省归绥道管辖。
厅为清王朝在内蒙古西部地区管理汉民和蒙汉交涉事务而设的同知、通判的办公处所,后逐渐成为单独的地方行政单位。厅的长官,同知为正五品,通判为正六品。丰镇厅、武川厅、兴和厅设同知,宁远厅初设通判,清末升为同知;和林格尔厅、清水河厅初设协理通判,乾隆二十五年(1760年)升为通判。清末所设陶林厅亦为通判。各厅的属官,有巡检(九品)、司狱(九品),丰镇厅有巡检2人,其他厅1人;丰镇厅、宁远厅有司狱各1人。
民国元年(1912年)5月,和林格尔、清水河、丰镇、宁远、兴和、陶林、武川各厅改为县。次年宁远县改为凉城县。以上各县属归绥道所改归绥观察使公署所辖。民国3年(1914年)6月,丰镇、凉城、兴和、陶林4县划归察哈尔特别区管辖。民国7年(1918年)成立商都县,民国11年(1922年)成立集宁县,二县均隶察哈尔特别区。各县均设议事会、县知事(县公署)、县参议会以及县司法机关。
县议事会名为立法机构,由议员40~60人组成,选举正、副议长各1人。由县知事决定会议的召集、开会、闭会等。县议事会的职权主要是对地方自治经费的财政权以及对于下级地方组织的公断权。县行政长官称知事,县行政机关称县公署。县知事的职权为行政、立法、司法三个方面。行政主要为发布命令、章程;任命官吏;监督所辖人员。立法主要为提议权、编制予算权、请求复议权、议案撤销权、紧急处分权。司法主要为在未设立法院的各县,由知事执行检察事务,以帮助审员执行审判事务。民国3年(1914年)后,县公署分设2~4科,办理日常总务及各有关事务,各科设科长1人,科员2~4人,技士1~3人。县参议会是办理自治行政的辅助机构,会长由县知事兼任,参议员由议事会议员互选产生,一般为4~12人。县参议会的主要职权为:县议事会议决事件的执行方法及其顺序;县议事会委托代办事件;县知事交与代替县议事会议决的事件;审查县知事提出的县议事会议案等。县司法机关分两种,一种是普通司法机关,有地方审判厅、地方检察厅、初级审判厅、初级检察厅、地方刑事简易厅等。一种是兼理司法机关、司法事务由县行政长官兼理,而不另设普通法院。民国初年,各县多设置审检所,附在县公署内。1914年后,审检所废止,未设法院的县原则上设置司法公署,由县行政长官兼理检察事务或兼理审判事务和检察事务。
民国16年(1927年)以后,国民政府对县政制度作全面改革,县公署改为县政府,知事改称县长,将县分为三等,各县设1~2科,科外设若干局,小县改局为科,县政府设县政会议,以县长、秘书和各局长、科长组成,县长为会议主席。
民国26年(1937年)10月,伪蒙古联盟自治政府成立巴彦塔拉盟,上述各县属该盟管辖。日本帝国主义投降后,各县纷纷建立国民党政府。随着革命政权的不断发展和壮大,国民党政府日渐衰败,步入穷途末路。民国37年(1948年)末至民国38年(1949年)初,各县国民党政权宣告垮台。
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